ウェハー洗浄液の挙動

説明
シリコンウエハー洗浄の様子を、ハイスピードカメラを用いて撮影しました。本来の洗浄液は透明ですが、可視化の為に白く着色しています。
洗浄工程においては、洗浄液の広がり方、エッジからの飛び散る液滴形成挙動のメカニズム解析が必要になります。Phantom v2640であれば、超高解像度での高速度撮影が可能なので、全体の洗浄液の広がり方や、液滴形成箇所を確認しながら、一つの液滴を拡大しても十分な解像度が得られるます。そのため全体の挙動と、部分的な挙動を一度で撮影でき、メカニズムの解析に有用なデータを、時間的にも、空間的にも関連付けながら撮影することができます。　また、液滴形成は常に円周上を動きながら形成されるため、拡大撮影エリアの指定が難しいのですが、Phantom v2640であれば、広い範囲を撮影しておいて後で拡大解析することができます。

試験条件：
ディスク回転数：200rpm

使用機材：
Phantom v2640 モノクロ

撮影条件：
撮影速度：4,000コマ/秒
露光時間：100μ秒
試験条件：ディスク回転数：200rpm

画像提供：
群馬大学大学院理工学府 知能機能創製部門
天谷賢児 教授